- 四川成都檢測中心
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掃描電子顯微鏡因其分辨率高、景深大、圖像*富立體感、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬等優(yōu)點而被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、無機非金屬材料及器件等的檢測。隨著我國經(jīng)濟的*發(fā)展，高校、科研單位、企業(yè)等大量引進了場發(fā)射掃描電子顯微鏡。但是在掃描電子顯微鏡的使用過程中，特別是在安裝初期，使用者通常由于對電鏡的運行狀態(tài)缺乏系統(tǒng)認識，經(jīng)常會遇到軟件死機、樣品臺被卡、真空問題等多種故障。解決方式一般為請維修工程師上門維修，除花費時間和費用外，也造成了對電鏡操作者的心里束縛。筆者以德國蔡司ULTRA PLUS掃描電子顯微鏡為例，從環(huán)境條件、光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)及附件設(shè)施4個方面總結(jié)了熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡運行狀態(tài)的幾種檢查方法和維護保養(yǎng)經(jīng)驗，并結(jié)合故障實例進行了分析。
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